納米壓痕已被證明是實(shí)用和有效的小體積機(jī)械測(cè)試方法之一，成功應(yīng)用于各種材料。生物納米壓痕儀的基本功能是對(duì)材料的硬度、彈性模量、斷裂韌性、蠕變、摩擦、磨損性能等進(jìn)行測(cè)定，設(shè)計(jì)的材料幾乎涵蓋所以的材料研究領(lǐng)域，比較典型的包括薄膜和納米材料、半導(dǎo)體材料、金屬材料、*功能材料、生物材料等。隨著應(yīng)用研究工作的深入，通過再壓痕/劃痕測(cè)試儀器的基礎(chǔ)上改造、增添新的測(cè)試模塊，儀器的功能不斷得到拓展，現(xiàn)在壓痕/劃痕測(cè)試儀還可以開展材料的參與應(yīng)力測(cè)量、沖擊壓痕測(cè)試、微懸梁臂等期間剛度系數(shù)測(cè)量、為拉伸。壓縮測(cè)試、耦合高溫、電場(chǎng)、濕潤(rùn)環(huán)境、多物理場(chǎng)等的測(cè)試以及微結(jié)構(gòu)表面加工等。
?。?）試樣制備簡(jiǎn)單。納米壓痕儀測(cè)試一般對(duì)試樣表面粗糙度有特殊要求，對(duì)被測(cè)試樣的形狀尺寸并無特殊要求，壓入深度在微納米尺度，是一種無損測(cè)試方法。
?。?）測(cè)量分辨力高。吉大納米壓痕儀位移分辨率達(dá)到0.05nm，力學(xué)分辨率100nN。瑞士的設(shè)備力學(xué)分辨率0.5nN，位移分辨率0.05nm。
?。?）操作方便。利用載荷-深度曲線，可直接換算得到接觸面積，無需對(duì)殘余壓痕面積進(jìn)行測(cè)定。
?。?）測(cè)試內(nèi)容豐富。利用納米壓痕儀測(cè)試不僅可以獲得硬度、彈性模量，還可以獲得塑性參數(shù)、斷裂參數(shù)、黏彈參數(shù)等。
?。?）生物納米壓痕儀應(yīng)用范圍廣?？蓮V泛應(yīng)用于金屬、陶瓷、薄膜材料、復(fù)合材料、生物材料、特殊功能材料、微機(jī)電系統(tǒng)中微構(gòu)件等眾多材料和結(jié)構(gòu)的力學(xué)測(cè)試。
